Yarıiletken karakterizasyonu, ince film ölçümleri, Hall etkisi ve biyosensör testleri için geliştirilmiş yüksek hassasiyetli laboratuvar cihazı. Manuel veya motorize prob manipülatörleri, entegre sıcaklık kontrolü, elektromıknatıs ve yüksek çözünürlüklü mikroskop seçenekleriyle gelir.
MikroProbe, tek bir numunenin elektriksel, optik ve manyetik özelliklerini aynı düzenekte ölçmeniz için tasarlandı. Platform mimarisi sayesinde ihtiyacınıza göre prob sayısı, ısıtma modu, soğutma modu, elektromıknatıs, mikroskop ve kamera modülleri seçilerek konfigüre edilir.
LabVIEW entegrasyonu ile tüm modüller tek arayüzden kontrol edilir; ham veri CSV olarak kaydedilir, Hall etkisi, IV karakterizasyonu ve Van der Pauw protokolleri hazır scriptlerle başlatılabilir.
2 ila 6 bağımsız prob. Manuel konfigürasyonda ~2 µm, motorize konfigürasyonda 1 µm altı hassasiyet. XYθ hareket, her prob ayrı konumlandırılabilir.
PID kontrollü ısıtıcı (maks. 200 °C) ve sıvı azot soğutucu (min. −196 °C). 0.1 °C çözünürlükle dijital sıcaklık kontrolü. CryoEge modülü opsiyonel olarak entegre edilir.
0 – 0.5 T akım kontrollü elektromıknatıs. Hall etkisi, manyetorezistans ve sıcaklık bağımlı manyetik özelliklerin tek geçişte ölçümü için.
7× – 45× stereo mikroskop (opsiyonel 90×), USB/HDMI 1080p–4K kamera entegrasyonu, LED ring ışıklandırma ve trinoküler gözlem.
5×5 mm'den 100×100 mm'ye kadar farklı numune boyutları için vakum veya vida ile tutma. Wafer, çip ve özel numuneler için adaptör.
Tüm modüller tek arayüzden kontrol edilir. IV süpürmeleri, T-R eğrileri ve Hall protokolleri hazır scriptlerle çalışır; veri CSV olarak kaydedilir.
| Mekanik & Pozisyonlama | |
| Prob tipi | Manuel / Motorize |
| Prob sayısı | 2 – 6 (bağımsız) |
| Pozisyon hassasiyeti | < 1 µm (motorize), ~2 µm (manuel) |
| Hareket eksenleri | X · Y · θ, başına 25 mm |
| Numune tabla alanı (min – maks) | 5×5 mm — 100×100 mm |
| Prob uç direnci | < 100 mΩ |
| Termal Kontrol | |
| Isıtıcı modülü | PID kontrollü, maks. 200 °C |
| Soğutucu modülü | Sıvı azot (LN₂), min. −196 °C |
| Sıcaklık çözünürlüğü | 0.1 °C |
| Ek opsiyon | Peltier, aktif hava soğutma |
| Manyetik Alan (Opsiyonel) | |
| Elektromıknatıs aralığı | 0 – 0.5 T |
| Kontrol | Akım kontrollü |
| Uygulama | Hall etkisi, manyetorezistans |
| Görüntüleme | |
| Mikroskop büyütme | 7× – 45× (opsiyonel 90×) |
| Aydınlatma | LED ring light |
| Kamera | USB / HDMI, 1080p / 4K uyumlu |
| Tip | Trinoküler stereo |
| Yazılım & Arayüz | |
| Otomasyon | LabVIEW entegre |
| Veri kaydı | CSV / TDMS |
| Hazır protokoller | IV, CV, Hall, Van der Pauw, R-T |
| Ek Modüller | |
| Mikroşırınga, mikropipet | Opsiyonel |
| Özel prob adaptörleri | Talep üzerine |
| CryoEge entegrasyonu | Tam uyumlu |
MOSFET, diyot ve TFT'lerin IV karakterizasyonu, eşik voltajı tayini, sızıntı akımı analizi ve doygunluk bölgesi davranışının incelenmesi.
Entegre elektromıknatıs ile Hall gerilimi ölçümü, n/p tipi belirleme, çoğunluk taşıyıcı yoğunluğu ve mobilite tespiti.
Tabaka direnci (Rs), temas direnci ve proses optimizasyonu için Van der Pauw ve dört uçlu prob yöntemleriyle objektif ölçüm.
Mikroelektrot performansı, hücresel yanıt ölçümü, mikrokanal iletkenlik analizi — opsiyonel mikroşırınga entegrasyonu ile.
Mikrokanatçık ve MEMS yapılarında stres-gerinim testleri, rezonans frekansı ölçümü ve termal siklus altında dayanım analizleri.
2–6 bağımsız prob ile paralel ölçüm, sensör matrislerinde eş zamanlı cevap testi, hızlı prototipleme ve devre doğrulama.
Sıcaklık, manyetik alan, prob sayısı, optik pencere, numune boyutu — tüm parametreleri deneyinize göre birlikte seçelim.