1 µm çözünürlük, 60 × 60 × 60 mm hareket hacmi, step motor + rotary enkoder ile kapalı çevrim kontrol. Wafer-haritalama, çok-noktalı otomatik ölçüm ve tekrarlanabilir deney protokolleri için tasarlandı.
Wafer-scale ölçümler, çok-noktalı karakterizasyon ve uzun süreli test protokolleri manuel konumlama ile zaman alıcıdır. MM-60, 1 µm çözünürlükte XYZ hareketi step motor + enkoder ile sağlar — her pozisyon tekrar tekrar aynı noktaya ulaşabilir.
LabVIEW arayüzü veya USB üzerinden script tabanlı kontrol ile tüm hareketler otomatik planlanabilir. Rotary enkoder kapalı çevrim geri beslemesi sayesinde adım kaybı veya mekanik yaylanma anında algılanır ve düzeltilir.
60 × 60 × 60 mm büyük hareket hacmi, tek kurulumda 4" ve 6" wafer üzerinde tam tarama yapabilmenize olanak tanır. MikroProbe istasyonuna doğrudan entegre olur, mevcut manuel kurulumlar ile birlikte de kullanılabilir.
Mikrofab yazılım paketi, wafer-haritalama, I-V / C-V ölçüm dizileri, otomatik temas algılama ve CSV/HDF5 veri çıktıları destekler. Özel protokoller için Python/LabVIEW API kaynağı sağlanır.
| Hareket & Hassasiyet | |
| Eksen Sayısı | 3 (X, Y, Z — bağımsız motorlu) |
|---|---|
| Çözünürlük | 1 µm |
| Hareket Mesafesi | 60 × 60 × 60 mm |
| Tekrarlama | ±2 µm (kapalı çevrim) |
| Maksimum Hız | 5 mm/s |
| Geri Besleme | Rotary enkoder (kapalı çevrim) |
| Kontrol | |
| Arayüz | USB 2.0 (standart); Ethernet opsiyonel |
| Yazılım | Mikrofab LabVIEW Suite + Python API |
| Komut Seti | ASCII, G-code uyumlu |
| Joystick | Opsiyonel (USB veya pendant) |
| Motor & Sürücü | |
| Motor Tipi | NEMA 11 step motor + mikro-stepping sürücü |
| Step Bölünmesi | 1/32 mikro-step |
| Güç | 24 V DC, < 30 W |
| Mekanik | |
| Gövde | Al6000, Al₂O₃ sert anodize |
| Yük Kapasitesi | 5 kg (prob + kablolar) |
| Boyutlar | 180 × 180 × 260 mm |
| Ağırlık | ~4.2 kg |
Wafer-haritalama, I-V / C-V süpürmesi, sıcaklık taraması — deneyiniz için özel yazılım geliştirme hizmeti sunuyoruz.